Kann plättchenförmiges Aluminiumoxid als Schleifmittelfüllstoff für Polierpads mit Saphirsubstrat verwendet werden?
Antwort: Ja. Plättchenförmiges Aluminiumoxid (α-Al₂O₃) eignet sich als Schleifmittel für Polierpads mit festem Schleifmittelanteil für Saphirsubstrate und wird hauptsächlich in den Grob- und Zwischenpolierstufen eingesetzt. Da Saphir einkristallines α-Aluminiumoxid ist, gehört plättchenförmiges Aluminiumoxid zum selben Materialsystem und vermeidet Fremdverunreinigungen.
Vorteile
- Der Gleitpoliermechanismus nutzt flache, hexagonale Plättchen, die sich unter Druck parallel zur Saphiroberfläche ausrichten. Anstatt scharfkantiges Kratzen zu erzeugen, erfolgt ein gleitendes Mikroschneiden im Oberflächenkontakt. Im Vergleich zu geschmolzenem weißen Aluminiumoxid werden tiefe Kratzer und Beschädigungen der Suboberfläche deutlich reduziert, wodurch die Ausbeute der LED-Epitaxie verbessert wird.
- Die Mohshärte von 9 entspricht der von Saphir. Es entfernt effizient Oberflächenschäden nach dem Schneiden und Läppen. Siliziumdioxid allein bietet eine zu geringe Abtragsrate.
- Hohe Reinheitsanforderung Hochreines α-Phasen-Plättchen-Aluminiumoxid (Al₂O₃ ≥99,9 %, niedriger Fe-, Na- und Si-Gehalt) ist erforderlich, um eine Metallionenverunreinigung der Saphiroberfläche zu verhindern, die die LED-Leistung beeinträchtigt.
