Gebeiztes, hochreines, weißes Schmelzaluminiumoxid wird durch Lichtbogenschmelzen von hochreinem Aluminiumoxidpulver, gefolgt von Beizen, Magnetscheidung und hydraulischer Klassierung, hergestellt. Es zeichnet sich durch einen Al₂O₃-Gehalt von ≥ 99,2 % und extrem niedrige Gehalte an Eisen-, Natrium- und Schwermetallverunreinigungen aus, wodurch schwarze Flecken auf Aluminiumoxid-Keramiksubstraten vermieden werden. Die strenge Partikelgrößenklassierung verhindert zu große Partikel und reduziert so das Risiko von Substratkratzern beim Nassschleifen erheblich. Mit einer Mohs-Härte von 9 bietet es eine stabile Schneidleistung und eignet sich für das Nassschleifen mit Schleifschliff auf Doppelseitenschleifmaschinen.
| Verarbeitungsschritt | FEPA Europäischer Standard | W-Serie (National Standard Micro‑pulver) | JIS Japanischer Standard | Referenz D50 μm | Prozessbeschreibung |
|---|---|---|---|---|---|
| Grobschleifen (Entfernen von Schnittspuren und Ausdünnen großer Werkstücke) | F320 / F400 | W40 / W28 | 400#, 500# | 29‐17 | Schnelles Entfernen von Schnittspuren und Glätten von Substraten für die Abtragung großer Materialmengen. |
| Zwischenschleifen (Parallelität korrigieren und durch das Grobschleifen beschädigte Schicht entfernen) | F600 / F800 | W20 / W14 | 600#, 800# | 9,3–6,5 | Gängiger Massenproduktionsprozess; die meisten elektronischen Keramiksubstrate werden nach diesem Schritt geliefert. |
| Feinschleifen (Reduzierung der Oberflächenrauheit für das nachfolgende Polieren/Metallisieren) | F1000 / F1200 | W10 / W7 | 1000#, 1200# | 4,5–3,0 |